● 六邊形真空傳輸腔,最多支持4個工藝腔。● 滿足半導體標準的配方驅動及管理軟件控制系統,符合SEMI標準。● 傳輸平臺系統漏率≤2mTorr/min。● VCE/TM腔體抽真空到10mTorr≤180s。● 兩個VCE單次VCE放片量≤25片
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