● 盒式對盒式集簇式真空傳輸系統，最多支持3個工藝腔。
● 滿足半導體標準的配方驅動及管理軟件控制系統，符合SEMI標準。通過閘板閥與傳輸腔室連接，晶圓在卡夾中放置狀態自動掃描。
● 在線式晶圓與對準機構，高可靠性真空晶圓傳輸機械手。
● 傳輸配置獨立的干泵，本底真空≤7.5mTorr。
● 單個VCE單次VCE放片量≤25片