歡迎訪問(wèn)微蕓科技！
品中心banner.jpg)
400自動(dòng)傳輸平臺(tái)
● 盒式對(duì)盒式集簇式真空傳輸系統(tǒng)，最多支持3個(gè)工藝腔。
● 滿足半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)的配方驅(qū)動(dòng)及管理軟件控制系統(tǒng)，符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)。通過(guò)閘板閥與傳輸腔室連接，晶圓在卡夾中放置狀態(tài)自動(dòng)掃描。
● 在線式晶圓與對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，高可靠性真空晶圓傳輸機(jī)械手。
● 傳輸配置獨(dú)立的干泵，本底真空≤7.5mTorr。
● 單個(gè)VCE單次VCE放片量≤25片
0.00
0.00
● 盒式對(duì)盒式集簇式真空傳輸系統(tǒng)，最多支持3個(gè)工藝腔。
● 滿足半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)的配方驅(qū)動(dòng)及管理軟件控制系統(tǒng)，符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)。通過(guò)閘板閥與傳輸腔室連接，晶圓在卡夾中放置狀態(tài)自動(dòng)掃描。
● 在線式晶圓與對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，高可靠性真空晶圓傳輸機(jī)械手。
● 傳輸配置獨(dú)立的干泵，本底真空≤7.5mTorr。
● 單個(gè)VCE單次VCE放片量≤25片
相關(guān)產(chǎn)品
 |  |
| ICP干法刻蝕機(jī) | CCP干法刻蝕機(jī) |
電話：400-883-6891
郵箱：sales@wintechsh.com
地址：上海市浦東新區(qū)王橋路689號(hào)1幢
微蕓科技 版權(quán)所有 嚴(yán)禁復(fù)制 網(wǎng)站備案號(hào)：皖I(lǐng)CP備2025092296號(hào)-1 網(wǎng)站建設(shè)：銘心科技
移動(dòng)端網(wǎng)站
