● 帶有信號反饋和可靠的碰撞保護功能。
● 磁流體中間環節保證腔體內部真空壓力與潔凈。
● 手動放取物料，邊緣定位。
● 運動范圍：最大到達距離 310mm(距腔口外側)。
● 重復精度：±0.2mm。
● 真空度：＜5x10-9 Torr。