慕德微納與微蕓科技戰略簽約|共推AR核心刻蝕設備量產,首臺樣機已穩定運行!
2025年12月30日下午,慕德微納與微蕓科技舉行戰略合作簽約儀式,雙方將攜手深耕傾斜光柵刻蝕領域,聯合開發高性能反應離子束刻蝕設備,推動 AR 刻蝕光波導技術產業化升級。
助力上海微蕓科技有限公司在裝備聯盟的平臺上完成了首臺套ALE先進刻蝕設備與GaN低損傷刻蝕工藝技術的開發驗證,刻蝕控制精度達到2個原子層、損傷小于5個原子層,突破了現有刻蝕技術的瓶頸工藝驗證可以大幅度提升Micro-Led的發光效率,降低功率電子器件的漏電流。......
備受全球納米技術界矚目的第十五屆中國國際納米技術產業博覽會(簡稱"納博會"),將于2025年10月22日至24日在蘇州國際博覽中心盛大啟幕。
四載砥礪,芯光啟航——合肥微蕓半導體科技有限公司四周年慶典
智造未來·聚勢共生|IPF·2025第三屆功率器件制造測試與應用大會
2025年8月21 - 22日“第三屆IPF2025功率器件制造測試與應用大會”在江蘇無錫舉行,展會聚焦功率半導體智能化轉型與全產業鏈協同創新,開展前沿技術報告、創新成果展區與現場交流活動,吸引超1000位行業人士。PF2025為產業鏈搭建交流平臺,微蕓科技參......
微蕓科技取得設置于等離子體刻蝕設備中的勻流裝置相關專利,提高晶圓刻蝕均勻性
金融界2025年7月12日消息,國家知識產權局信息顯示,微蕓科技取得一項名為“一種設置于等離子體刻蝕設備中的勻流裝置和刻蝕設備”的專利,授權公告號CN223092810U,申請日期為2024年08月。
金融界2025年7月22日消息,國家知識產權局信息顯示,微蕓科技取得一項名為“一種反應腔保護殼及等離子刻蝕設備”的專利,授權公告號CN115472484B,申請日期為2022年09月。